第518章 与成光所合作（2 / 2）

之后马所长果然没有食言，湖研院拿到第一台光刻设备时，仅落后北都微电子中心一周而已，据前来湖山负责安装的成光所工程师说，这台设备其实比北都微电子中心的那台更好些，在复制时进行了一些改进。

两个月后湖研所又拿到了成光所制造的第二台光刻机，而此时成光所也第一次见到了重光的新镜头，这套价值550万由长光所根据湖研所提供的图纸进行加工组装的具有二十片镜片五个套筒完整微气压调节系统和纳米级激光校准系统的高级镜头组立刻就让成光所负责技术合作的科学家和工程师们目瞪口呆，觉得湖研所里一定有不世出的奇人，这种神器说是十年磨一剑设计出来的也不过分啊。

按照湖研院的安排，成光所交付的第一台光刻机被用于0.8微米制程下的流片与双胶涂覆工艺的制程实验，这第二台自然是要用于镜头改装的，将来的第三台是要进行双工件台智能联动镜头像场精密校准项目的。

经过连续几个月的合作之后，成光所现在对重光湖研院的技术佩服的五体投地，对他们的三大技术路线再也没有任何怀疑，马所长前后已经来过湖研院三次，每次都带着激动和兴奋，对湖研院在项目上的每一次进展都啧啧称奇，对于幕后主导这三大重点技改项目的胡一亭更是惊为天人，马所总是以天才胡一亭称呼那位还没见过面的心仪人物，断言其必然成为国内IC业未来领袖。

所以这次胡一亭按照日程回到湖山之后，就在湖研院见到了希望和他面谈的马佳光所长还有成光所目前驻扎湖研所的的二十几位顶尖科学家和工程师组成的团队。

双方经过商议后，胡一亭和马佳光所长共同敲定了重光湖研院和成光所共同研发0.35微米先进光刻系统的实施计划。

“目前重光第一晶圆厂已经进了设备，用的是ASML的I-line光刻系统，他们这台光刻机，每套设备价值400万美元，马所，如果我们重光能搞定实验室技改，希望你们成光所能尽快拿出整套样机，到时候我们重光还按照400万美元的价格向你们采购，今后重光公司要新建的0.35微米制程晶圆厂也将尝试采用国产光刻系统！中国自己的设备如果不在生产中大量使用，我们永远都发现不了问题，也就没法进步，重光愿意为中国设备的进步赴汤蹈火，吃亏吃苦！”

马佳光所长听了胡一亭这话感动异常：“一言为定！我同意胡总你的说法，只有生产实践才能使国产设备不断提高水平！研制出设备不等于量产设备！最终制造出的设备能否长时间稳定持续生产，这才是最大的考验！跑第一张wafer的刻蚀率与第四万张的刻蚀率之间的差值是否一样能达到工艺要求？设备第一年连续运行的故障率能控制在多少时间？设备在运行几年后还是否能进行工艺改造升级？损耗部件的寿命与价格能否达到较高的性价比？以上这些都是有待时间验证的。世界排名前十位的设备制造商，都至少有十几二十年以上的实践生产历史，设备都是经受住时间考验的，大浪淘沙般的磨砺出来的。中国国产设备虽然目前有些进步的成绩，但还是需要些时间来积淀。重光如果愿意在生产中使用国产设备，我觉得国家即便砸锅卖铁也该支持！“

胡一亭连连点头：“马所真知灼见，了不起！”

马所和蔼地笑了起来，又问：”不过，重光能不能让我们成光所的人去你们第一晶圆厂看看那台ASML的I-line光刻机？”

胡一亭知道马所心里在想什么，坦言道：“根本没戏，马所，按照我们与美方的协议，美国AMAT应用材料公司和荷兰ASML公司将在我们第一晶圆厂厂区设立独立的驻华办事处，全程监视我们对于光刻机和离子注入设备的操作，光刻车间和晶圆处理车间里一共安装了16套CCTV闭路电视，7乘24小时的监控这些设备，每周还要对设备进行原封检查，只要我们重光违约，他们就有权断我们的电！同时可以遥控对设备进行锁死，根据合同，重光后续还要面对巨额赔偿，还要面临美国政府制裁！你要知道，我们重光能通过Cyrix搞定这次进口，已经付出了极大的代价，49%的股权是作为技术入股免费赠予美方的，而据我所知，这49%的股权Cyrix只拿了其中的一部分，美方几大设备厂商也都拿到了相应的部分股权，只是由Cyrix代持而已。”

马所眼神迅速黯淡下来：“唉……之前我也听微电子所的人说过，可没想到管得这么严，你们重光搞这个晶圆厂，能赚到钱吗？虽然说闪存芯片目前很走俏，但听说美国日本甚至韩国都在上晶圆厂，我希望你们这次赶紧投产，争取把本先搞回来。”

胡一亭笑道：“马所别灰心，只要我们中国人自己争气，搞出同样性能的设备，美国人的办事处迟早会撤掉。至于收回投资，重光完全有信心！我们的颗粒设计是世界第一流的！制程技术也是世界第一的！”

马所不疑有他，重重点头赞许道：“了不起，我知道你能干，别人要是这么说我一定觉得他在说大话，可胡一亭啊，你是我见过国内年青人里最杰出的科学家，前途不可限量！从你证明出庞加莱猜想，搞出游影霸王指令集开始，我就知道中国IC业出了个百年一遇的奇才，中国集成电路产业有希望了！这希望就在你们这一代人身上！尤其在你身上！你既然这么有信心，那我等着看你们第一件晶圆厂的喜报，你们的第一批工程颗粒流片出来之后，可一定要第一时间给我们成光所见识见识。”

胡一亭腼腆笑道：“一定，不过马所你过奖了，我只是尽力而为，我的理想是让太祖他老人家的话成为现实，他老人家说过，中国人民有志气有能力，一定能在不远的将来赶上和超过世界先进水平，这也是我毕生奋斗的目标。”

马所赞叹：“好样的！这句话在我们所也赫赫有名，哈哈，很大的红色亚克力标语就贴在微机实验室的墙上，你怕不是来过我们所吧？哈哈哈。”

说罢马所兴奋起来，重重拍了拍胡一亭的肩膀：“你一定行的！我看了你们的这三项技改，真是把我给震惊了，你这脑子是怎么长的，怎么什么都懂呢？”

胡一亭被夸的有些不好意思，笑道：“我也不知道，就觉得那思路像是原本就存在脑子里一样，一想起来就好像回忆自己做过的事情，思路就源源不断流了出来。”

马所啧啧称奇，对身旁成光所的几位科学家道：“看到没有！这就是天才！货真价实的！我都是第一次见到这样的人物！小胡将来一个院士是跑不了的！”